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半导体集成电路是指在半导体基板上,利用氧化、蚀刻、扩散等方法,将多个电子电路构成各种二极管、晶体管等电子部件,在微小的面积上完成特定的逻辑功能,实现预先设定的电路功能。
半导体的生产技术要求高,复盖光刻、精密切割、研磨等各种复杂技术,生产半导体的过程产生大量废水,半导体废水污染物种类多,成分复杂,通常包括多种重金属废水、有机废水、硅和氟废水,同时半导体PCW系统的工艺冷却水必须过滤处理再利用。